中圖儀器VT6000太陽能電池片形貌共聚焦測量顯微鏡結(jié)合精密縱向掃描，在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點，從而重建出3D真彩圖像進行分析。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

產(chǎn)品功能

(1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

(2)設備具備自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

(3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件，預先設置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能；

(4)設備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

應用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

VT6000太陽能電池片形貌共聚焦測量顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節(jié)，顯示出精細的細節(jié)圖像。它具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實現(xiàn)更準確的操作。

在太陽能光伏行業(yè)的應用

VT6000共聚焦顯微鏡具有測量精度高、全自動化、快速測量、處理數(shù)據(jù)便捷等優(yōu)點，能夠?qū)μ柲茈姵仄⒂^結(jié)構(gòu)進行三維形貌重建：

對柵線進行快速檢測，軟件具備對視場內(nèi)的柵線自動測量功能，能夠?qū)呙璜@取的三維輪廓進行多剖面分析，計算出每個剖面的柵線高度及寬度尺寸。

VT6000共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進行三維形貌重建，并由專用分析模塊自動獲取絨面上每個金字塔的體積，比表面積等信息，計算出單位面積金字塔數(shù)量和不同尺寸金字塔的比例。

部分技術(shù)指標